工控維修

一、旋涂?jī)x概述

旋涂?jī)x是一種廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)生產(chǎn)中的設(shè)備，主要用于將樣品溶液均勻地涂覆在基板表面。常見于薄膜制作、溶膠凝膠實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域，其操作簡(jiǎn)便、效率高，是材料科學(xué)和微電子技術(shù)中不可或缺的工具。

二、旋涂?jī)x原理

旋涂?jī)x的工作原理基于離心力的作用。當(dāng)基板被固定在高速旋轉(zhuǎn)的平臺(tái)上時(shí)，滴加在基板上的樣品溶液會(huì)在離心力的作用下迅速鋪展開來(lái)，形成均勻的薄膜。勻膠旋涂?jī)x通過(guò)控制旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間和滴液量等參數(shù)，可以精確調(diào)節(jié)薄膜的厚度和均勻性。

三、旋涂?jī)x的使用方法

旋涂?jī)x的使用大致可以分為以下幾個(gè)步驟：

1. 準(zhǔn)備樣品溶液：將待涂覆的樣品溶解在適當(dāng)?shù)娜軇┲?，制備成一定濃度的溶液?/p>

2. 安裝基板：選擇適合尺寸的吸盤，將其固定在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，確?；逦挥谖P正中央。

3. 設(shè)置參數(shù)：根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求，設(shè)定旋涂?jī)x的旋轉(zhuǎn)速度和旋轉(zhuǎn)時(shí)間。通常分為兩個(gè)步驟，第一步用于初步鋪展溶液，第二步則用于細(xì)化薄膜厚度。

   
   

4. 滴加樣品：在基板中心位置滴加適量的樣品溶液，并迅速蓋上防護(hù)蓋以防意外濺出。

5. 啟動(dòng)旋涂：確認(rèn)參數(shù)設(shè)置無(wú)誤后，啟動(dòng)旋涂?jī)x，樣品溶液將在離心力作用下均勻涂覆在基板上。

6. 干燥處理：旋涂完成后，將基板移出旋涂?jī)x，進(jìn)行干燥處理，如使用烘箱或離心干燥等方法，使樣品在基板上干燥固化。

7. 關(guān)機(jī)與清理：關(guān)閉旋涂?jī)x，清理旋轉(zhuǎn)臺(tái)和吸盤上的殘留物，保持設(shè)備干凈干燥。

四、旋涂?jī)x的常見故障及維修方法

1. 基材污染：

• 現(xiàn)象：旋涂后的薄膜出現(xiàn)雜質(zhì)或不均勻。

• 維修方法：徹底清潔基材和旋涂?jī)x，使用丙酮等溶劑去除殘留物，確保操作環(huán)境無(wú)塵。



2. 旋轉(zhuǎn)臺(tái)故障：

• 現(xiàn)象：旋轉(zhuǎn)臺(tái)無(wú)法啟動(dòng)或轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定。

• 維修方法：檢查電源線是否連接良好，檢查旋轉(zhuǎn)臺(tái)電機(jī)是否損壞，必要時(shí)更換電機(jī)或維修電路板。



3. 滴液不均勻：

• 現(xiàn)象：旋涂后的薄膜厚度不一。

• 維修方法：檢查滴液系統(tǒng)是否堵塞，調(diào)整滴液量和滴液位置，確保每次滴液量一致且準(zhǔn)確滴在基板中心。

4. 機(jī)械部件磨損：

• 現(xiàn)象：旋涂?jī)x運(yùn)行噪音大，旋轉(zhuǎn)不平穩(wěn)。

• 維修方法：定期潤(rùn)滑機(jī)械部件，檢查并更換磨損的零件，如軸承、齒輪等。

5. 控制系統(tǒng)故障：

• 現(xiàn)象：無(wú)法設(shè)置參數(shù)或參數(shù)設(shè)置無(wú)效。

• 維修方法：檢查控制系統(tǒng)電路板是否損壞，重新校準(zhǔn)傳感器和控制器，必要時(shí)更換電路板或升級(jí)軟件。

五、總結(jié)

旋涂?jī)x作為一種高效、精確的涂覆設(shè)備，在材料科學(xué)和微電子技術(shù)領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。了解其工作原理、掌握正確的使用方法、及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決常見故障，對(duì)于保證實(shí)驗(yàn)效果和延長(zhǎng)設(shè)備壽命具有重要意義。

六、容濟(jì)機(jī)電維修過(guò)的旋涂?jī)x品牌和型號(hào)

   1、 Laurell Technologies Corporation

（1）WS-400B系列：WS-400B-6NPP-LITE，WS-400B-6NPP-LITE-S，

         WS-400B-6NPP-LITE-6K，WS-400B-6NPP-LITE-8K

（2）WS-650系列：WS-650-23，WS-650-23NPP，WS-650-8B，WS-650-8B-6K

   2、SüSS MicroTec

（1）LabSpin系列：LabSpin 6，LabSpin 8

   3、Specialty Coating Systems (SCS)

（1）P6700系列：P6700，P6708

   4、Chemat Technology

（1）KW-4A: 精密旋涂?jī)x

（2）KW-4B: 精密旋涂?jī)x

   5、Ossila

（1）Spin Coater系列：Ossila Spin Coater

   6、Spin Coating by Integrated Technologies

（1）VTC-100系列：VTC-100

（2）VTC-200系列：VTC-200

   7、Delta Scientific Equipment

（1）Spin150系列：Spin150

   8、APT GmbH

（1）Spin150: 高精度旋涂?jī)x

   9、Future Digital Scientific

（1）WS-650Mz-23NPPB: 精密旋涂?jī)x

（2）WS-650-23NPP-LITE: 精密旋涂?jī)x

   10、Holmarc Opto-Mechatronics

（1）HO-TH-05: 精密旋涂?jī)x

（2）HO-TH-06: 精密旋涂?jī)x

   11、Midas System

（1）Midas Spin Coater: 高精度旋涂?jī)x

   12、Brewer Science

（1）Cee 200X: 精密旋涂?jī)x

（2）Cee 300X: 精密旋涂?jī)x

   13、POLOS by SPS-Europe

（1）POLOS 200: 精密旋涂?jī)x

（2）POLOS 400: 精密旋涂?jī)x

   14、EV Group (EVG)

（1）EVG150: 半導(dǎo)體制造用旋涂?jī)x

   15、Tokyo Ohka Kogyo (TOK)

（1）SSP-300: 高精度旋涂?jī)x

   容濟(jì)機(jī)電公司長(zhǎng)期維修旋涂?jī)x，擁有接近30年的維修經(jīng)驗(yàn)，可以快速搶修好各類儀器，另外回收和銷售各類旋涂?jī)x，歡迎咨詢。